主要鍍膜材料及其性能和用途
名稱   折射率   透光範圍   蒸發溫度(℃)    蒸發源   應用
三氧化二鋁   1.62/550nm    200~5000    2000-2200    電子槍   增透膜、多層膜
氟化鈰   1.63/500nm    300~5000    1429    鉬，鉭，電子槍   增透膜、多層膜
氧化鈰   2.35/500nm    400~16000    1950    電子槍   增透膜
冰晶石   1.33/500nm    250~14000    1000    鉬，鉭，電子槍   增透膜
氧化鉿   1.95/500nm    230~7000    2500    電子槍   紫外-近紅外多層膜
透明導電膜料   2.0/500nm    400~800    1450    電子槍，Al2O3    透明導電膜
氟化鈣   1.23-1.42/550nm    150~12000    1280~1400    鉬，鉭，鎢   增透膜
氟化鎂   1.38/550nm    130~7000    1300~1600    鉬，鉭，鎢   增透膜、多層膜
氧化鎂   1.7/500nm    200~8000    2000    電子槍   多層膜
鋯鈦混合物   2.1/500nm    400~7000    2300    鎢，電子槍   增透膜
氧化鈧   1.89/500nm    250~5000    2430    電子槍   紫外多層膜
二氧化硅   1.45/500nm    200~2000    1600~2200    電子槍   多層膜
一氧化硅   1.55/550nm    600~8000    1200~1600    鉬，鉭，鎢   增透膜、保護膜
五氧化二鉭   2.1/500nm    400~7000    1950    電子槍   增透膜
一氧化鈦   2.35/500nm    400~12000    1700~2000    電子槍   多層膜、分光膜
二氧化鈦   2.35/500nm    400~12000    2200    電子槍   增透膜、多層膜
氧化釔   1.87/550nm    400~8000    2500    電子槍   增透膜、多層膜
氧化鋯   2.05/500nm    250~7000    2500    電子槍   增透膜、多層膜
三氧化二鈦   2.35/500nm    400~12000    1800~2000    鉭，鎢電子槍   增透膜、多層膜
氟化鋇   1.4/10600nm    220~11000    1280    鉬，鉭，鉑   紫外-遠紅外膜、多層膜、增透膜
氟化鑭   1.58/500nm    220~14000    1450    鉬，電子槍   增透膜
硅   3.4/3000nm    1000~9000    1500    電子槍   紅外膜
鍺   4.4/2000nm    1700~23000    1300~1500    電子槍，鎢   紅外膜
硒化鋅   2.58/550nm    600~15000    600~900    鉬，鉭，電子槍   紅外膜
硫化鋅   2.4/1200nm    400~14000    1100    鉬，鉭，電子槍   多層膜
氟化釔   1.49/632.8nm    200~15000    1100    鉬  m)增透膜m 紅外膜(10.6
氟化鐠   1.51/632.8nm    220~15000    1400~1600    鉬，電子槍  m)增透膜m 紅外膜(10.6
氟化鋁   1.35/500nm    200~8000    800~1000    電子槍，鉬，鉭   紫外膜
氟化鉛   1.76/470nm    220~9000    700~1000    鉑   紫外膜
氧化釓   1.8/550nm    320~15000    2200        增透膜
五氧化三鈦   2.35/500nm    400~12000    1750~2000        多層膜、分光膜
蒸發源
名稱   鋁絲   鉻絲   鎳鉻絲   鎢絲   鎢片   鎢舟   鉬片   鉬舟
化學式   Al    Cr    Ni/Cr    W    W    W    Mo    Mo-----------+